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Hitachi电子显微镜检查样本制备系统
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... SEM 和 STEM / TEM 用户都知道这个问题:高分辨率成像通常会因观察区域碳膜的快速堆积而受到影响(如果不是完全不可能的话)。这通常是由气态碳氢化合物引起的,它们在观察过程中由于电子束的能量传递而不断沉积。这些碳氢化合物的来源可能是真空室的真空度不理想,通常可以使用高能量输入的等离子清洁器或日立准分子光源 "Sparkle "来改善真空度。 不过,在大多数情况下,观察对象和样品架本身才是主要的污染源。在这种情况下,等离子处理往往过于粗糙,会改变甚至破坏样品。日立用于 ...
Hitachi High-Tech Europe GmbH

... SEM 和 STEM / TEM 用户都知道这个问题:高分辨率成像通常会因观察区域碳膜的快速堆积而受到影响(如果不是完全不可能的话)。这通常是由气态碳氢化合物引起的,它们在观察过程中由于电子束的能量传递而不断沉积。这些碳氢化合物的来源可能是真空室的真空度不理想,通常可以使用高能量输入的等离子清洁器或日立准分子光源 "Sparkle "来改善真空度。 不过,在大多数情况下,观察对象和样品架本身才是主要的污染源。在这种情况下,等离子处理往往过于粗糙,会改变甚至破坏样品。日立用于 ...
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... IM4000 II 是一种模块化计算机控制氩离子抛光系统,可根据所需功能配备为纯表面抛光机、截面抛光机或混合系统。离子束能量以 100eV 为单位从 0.1keV 到 6.0keV,可满足从最精细的抛光到较大截面的各种应用需求。在横截面操作中,IM4000 II 在硅材料上的最大去除率可达 500 微米/小时(6keV,掩膜边缘突出 100 微米,平台摆动 ±30°)。可提供自动启动/时间预选、间隔抛光或两级工艺等功能。IM4000 ...
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... 样品会在先前登记的加工区域内定期横向移动,同时保持在最佳聚焦位置。还可选择对多个单独位置进行连续加工;选配的多样品支架最多可自动加工 3 个样品。 ArBlade 5000 / IM5000 配备了功能更强大的离子枪,每小时去除率超过 1 毫米。使用 ArBlade 5000-CTC,还可以在可定义的加工温度(低至 -100 °C)下加工宽度可变的冷冻横截面。 产品特点 - 坚固耐用、便于维护的潘宁型离子枪,可独立控制束流和加速电压。可在所有加速电压(0-8 ...
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... ZONESEMII 台式样品清洁器采用紫外线清洁技术,可最大限度地减少或消除电子显微镜成像中的碳氢化合物污染。 概述 在大气条件下制备、处理或存储样品可能会增加样品上的碳氢化合物堆积,在电子束的作用下,这些碳氢化合物会在样品表面形成厚厚的一层。使用 ZONESEMII 清洁试样表面可以去除碳氢化合物,减少电子束污染的可用分子。防止试样表面污染对于电子显微镜的真实观察至关重要。 ZONESEMII ...
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