Hitachi显微镜

倍率: 3,000,000 unit
空间分辨率: 1.2, 0.7, 0.4, 0.8 nm

专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。 特点 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。 0.4 nm / 30 kV (SE) 1.0 nm / 1 kV (SE) 0.34 nm / 30 kV (STEM) 用改良的高真空性能和优异的电子束稳定性来实现高效率截面观察。 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。 具有电子光学系统自动调整功能。

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.6, 0.9, 0.8 nm

随着快速数据采集和数据处理技术的发展，电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量，而且注重其采集过程的时代。SU8700作为一款面向新时代的SEM，在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上，增加了包括自动获取数据等高通量的功能。 超高分辨观察和超强分析能力 日立的高亮度肖特基场发射电子枪可同时支持超高分辨观察和快速微束分析。在不使用样品台减速的情况下，仅用0.1 kV的低加速电压仍可进行高分辨观察，适应更多应用场景。同时，可搭配多种新型探测器和其他丰富的选配项，满足更多的观测需求。 ...

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.7, 0.6 nm

... 这两种型号配置自动获取大量数据的功能。FE-SEM是用于观察、测量和分析样品细微结构的场发射扫描电子显微镜，因此被广泛用于半导体、生命科学和材料研发等领域。未来，数据驱动开发的进步需要庞大的数据支撑，为此，日立高新技术特推出此系列产品，支持短时间内获取大量数据，减轻用户的负担。 *1. FE-SEM：Field Emission Scanning Electron Microscope （场发射扫描电子显微镜） SU8600、SU8700的开发背景 FE-SEM获得的图像分辨率高，信息丰富， ...

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.9, 0.8 nm

SU7000不仅可以在低加速电压下获得高画质图像，而且还可以同时接收多种信号。此外，它还具备大视野观察、In-Situ观察等FE-SEM的众多优异性能。 SU7000是一台实现了获取大量信息的新型扫描电镜，可以满足客户的多种观察需求。 接下来请欣赏SU7000带来的多彩世界。 核心理念 1.采用优异的成像技术 SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统，使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号，用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。 2.采用多通道成像技术 随着用户对成像需求的不断增长，SU7000特新增了几种探测器，还引进了相应的成像功能。SU7000最多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的最大化。 3.支持不同形状样品、多种观察方法 大型样品观察 低真空观察 超低温观察 实时观察 等所需的样品仓和真空系统都十分完备，观察方法也是一应俱全。 4.支持微纳解析 采用肖特基发射电子枪，最大束流可达到200 ...

创新的“EM Wizard”界面更加直观，仅需要“点击”即可得到理想的图像。 超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。 高性能电子光学系统 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊ 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析 性能优异 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)＊ 开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: ...

倍率: 5 unit - 800,000 unit
空间分辨率: 4, 15, 3 nm

立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。 ■样品台可搭载超大/超重样品 通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品 选配样品交换仓，可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品，大大提高了工作效率 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度* 红外CCD探测器，提高了样品台移动的安全性 ■支持全视野移动。SEM ...

倍率: 50,000, 60,000, 10,000, 30,000, 15,000 unit
空间分辨率: 4, 5 nm

... 凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器，可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面，具有亮度和对焦自动调节功能，可以在短时间内进行各种观察。此外，还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”，这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点，实现最直观的视野移动。 尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型*1电子显微镜，仍可实现4.0 nm的分辨率 凭借独特的高灵敏度二次电子、背散射电子检测器、低真空检测器（UVD*2），可在低加速/低真空下观察时实现最高的画质 全新的用户界面，无论用户的熟练程度如何， ...

倍率: 10 unit - 250,000 unit
重量: 54 kg
长度: 617, 614 mm

我们以“更高画质、更易于使用、更易于观察”为理念，开发出TM4000系列。在此基础上，我们又推出功能更为多样的TM4000Ⅱ系列。 为您提供全新的观察和分析应用。 操作简单且快捷 观察图像只需 3 分钟。 可快速观察图像，并导出测试报告。. Report Creator可让您轻松制作报告 只需选择图像和模板，就可以制作Microsoft Word、Excel、PowerPoint格式的报告 即便是绝缘物样品，也无需预处理，就可直接进行观察。 “荷电减轻模式”可抑制荷电现象 对于容易产生荷电的样品，可使用“荷电减轻模式”，在抑制荷电的状态下进行观察。 只需用鼠标在软件上点击即可切换到“荷电减轻模式”。 可在低真空的条件下进行二次电子像（表面形状）观察。 无需预处理，也可以观察绝缘物和含水、含油样品的表面 不仅是观察传统的导电性样品，还可以在无预处理的条件下观察绝缘物和含水、含油样品。可快速进行二次电子像与背散射电子像之间的切换。 高感度低真空二次电子检测器 采用高感度低真空二次电子检测器(UVD)。通过检测由于电子线与残留气体分子之间的碰撞而产生的光，可以观察带有二次电子信息的图像。此外，通过控制该检测器，来检测电子照射所产生的光，可以获得CL信息（UVD-CL：带有CL信息的图像）。 TM4000Ⅱ/TM4000Plus ...

倍率: 20 unit - 8,000,000 unit
空间分辨率: 0.08, 0.1 nm

通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。 透射电子显微镜除了延续了日立公司配备的球面像差校正器的功能、自动校正功能，像差校正后的SEM图像和对称Dual SDD技术等特点。还融汇了透射电子显微镜HF系列中所积累的技术。 对于包括高端用户在内的广泛用户，我们提供亚Å级空间分辨率和高分析性能以及更多样化的观察和分析方法。 特点 标配日立生产的照射系统球差校正器（附自动校正功能） 搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪 镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升 ...

倍率: 600,000, 800,000, 1,000,000 unit
空间分辨率: 0.14, 0.19, 0.2 nm

"RuliTEM"120 kV透射电子显微镜系列，包含配备高衬度透镜，实现大视野、高对比度观察的HT7800和配备高分辨率透镜的HT7830。 全新操作可应对日常工作。 我们将竭诚为您提供合适的TEM解析解决方案。 特点 日立的双隙物镜设计，支持低倍率下的大视野高反差观察与高分辨率观察 凭借在明亮环境中的数字化操作环境和各种自动功能，从初学者到熟练者均可操作 通过全新设计的"Image Navigation"功能，可轻松搜寻视野和拍摄图像 配备全自动图像拼接功能 ...