ContourX-500 光学轮廓仪是世界上用于快速、非接触式三维表面测量的最全面的自动化台式系统。ContourX-500 具备量具能力,拥有无与伦比的 Z 轴分辨率和精度,并以更小的占地面积提供了业界公认的布鲁克白光干涉仪 (WLI) 落地式型号的所有优势。从精密加工表面和半导体工艺的 QA/QC 计量到眼科和 MEMS 设备的研发表征,该轮廓仪可轻松定制,以满足最广泛的复杂应用需求。
尖端/倾斜
光学头
可在一定角度范围内测量表面特征,同时将跟踪误差降至最低。
最先进的
用户界面
可直观访问大量预编程过滤器和分析库。
集成
空气隔离
节省空间,提供最佳计量精度。
专为无与伦比的台式计量而设计
布鲁克公司在显微镜头中专有的尖端/倾斜功能为用户的生产设置和检测提供了无与伦比的灵活性。通过将自动尖端/倾斜功能与显微镜头中的光路耦合,布鲁克公司将检测点与视线耦合在一起,与倾斜无关。这就减少了操作员的干预,提供了最大的可重复性。其他硬件功能包括可实现更大缝合能力的创新平台设计,以及可实现更低噪声、更大视场和更高横向分辨率的具有 1200x1000 测量阵列的 500 万像素摄像头。这些功能与自动平台和物镜相结合,使 ContourX-500 成为 "按需测量 "研发的理想之选。
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