PVC5100 系列是完全校准的温度补偿型真空传感器,专为具有成本效益的 OEM 集成而设计。它由一个 MEMS 热传导传感器(皮拉尼传感器)、测量电子元件和微处理器组成,封装在一个超紧凑的 PCB 组件中,并封装在一个带有 ISO-KF 接头的不锈钢外壳中。传感元件基于 Posifa 成熟的第二代 MEMS 热传导芯片,其工作原理是气体的热传导率与真空压力成正比。电子元件和微处理器对传感器信号进行放大和数字化处理,并通过 l2C 接口提供数字输出。由于真空的热导率随环境温度的变化而变化,微处理器利用内置温度传感器的输入实现了温度补偿算法。为便于集成,PVC5100 包括一个连接器端接线束,并支持 ISO-KF 接头。
特点
- 精度:1 mTorr 至 200,000 mTorr 范围内读数精度为 15
- 快速响应时间:250 毫秒
- 数字 l2C
- 功耗低,适用于电池供电仪器
- 温度补偿
- 抗污染
应用
- 主真空泵下任何封闭系统的泄漏检测,例如
真空隔热板
- 数字真空计
绝对最大额定值
- 工作温度:-25 °C 至 85 °C
- 存储温度:-40 °C 至 90 °C
- 冲击:峰值 100 克(5 滴,3 轴)
- 超压:27.5 巴
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