医用废气洗涤塔 GABA AWE 050 AE

文丘里

用于EPI工艺的湿式洗涤器气体消减 创新的湿式洗涤器技术 用于半导体行业的关键EPI工艺 获得专利的入口堵塞预防器 延长服务周期 不需要收集副产品的捕蜜器 频率控制的文丘里装置 四个工艺入口可连接到四个不同的腔室 优点 GABA AWE是我们创新的湿式洗涤器，专门为半导体行业的关键EPI工艺开发。它们结合了最大的运行可靠性和最高水平的工艺稳定性。 我们的AWE系列配备了专利的有害气体入口，防止洗涤器入口堵塞。这导致了使用寿命的增加，同时也降低了运行成本。维护工作减少到在规定的服务周期内更换入口堵塞预防器。这可以很容易地进行，而不需要拆开设备。 GABA AWE的特殊设计使得在蜂蜜捕集器中分离生产过程中的副产品变得过时。湿式洗涤器可以处理所有的工艺残留物，而不会堵塞气体入口。水溶性的副产品在洗涤液中发生反应，固体被分离成颗粒或在运行过程中与废水一起被抽走。 生产过程的真空是通过一个频率控制的文丘里装置提供和主动控制的。这确保了生产车间的恒定工艺压力和无故障运行。所有的过程设置都可以通过一个带有彩色显示和触摸屏的可编程逻辑控制器（PLC）进行。