高效的无焰催化式气体减排
无焰催化和热湿式气体消减技术的组合
处理可燃性和可溶性气体
优异的消减效率
高温电加热器
完整的互换系统
四个工艺入口可连接到四个不同的腔室
优点
GABA AFC气体消除系统的设计是为了在生产过程中减少或去除有害气体和空气污染物。基本上,它们改变了气体的化学成分。通过使用无焰催化热氧化和热湿式气体处理技术的组合,可以同时处理可燃气体和可溶气体。
GABA AFC使用一个带有加热催化剂的高温加热器。这可以在没有火焰的情况下实现完美的燃烧。为了提高目标气体的去除效率,适当的温度和正确的操作液是关键。热力系统提供稳定的处理条件,同时产生的副产品(即氮氧化物、二氧化碳等)大大减少。水溶性气体、副产品和来自反应室的热气然后在湿室中处理。
为了避免维护过程中的污染,GABA AFC被设计成完全互换系统。所有模块都可以单独更换,无需打开反应室。
AFC系列气体处理系统的标准配置是四个工艺入口。因此,该系统可以连接到一个工艺工具的四个不同的腔室或多个工具上,这取决于应用。
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