Femto 等离子系统可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与 Femto 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。Femto 等离子系统主要应用于以下领域:
分析、考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感技术、灭菌、纺织技术
基本装备
根据具体组件/选装件,外壳会有所不同
腔室容积:根据具体版本,分为 1.9 - 6 升
供电电源:台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位
真空腔室
圆形不锈钢,带盖(约 ∅ 100 mm,长 278 mm 或长 600 mm)
矩形不锈钢,带铰链的门(约宽 103 x 深 285 x 高 103)
矩形铝材,带铰链的门(约 ∅ 103 mm x 103 mm,长 280 mm 或长 600 mm)
圆形石英玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约 ∅ 95 mm,长 280 mm 或长 600 mm)
圆形硼硅玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约 ∅ 95 mm,长 280 mm 或长 600 mm
装载件
产品支架(选项:水冷型)
石英玻璃舟皿
粉末转鼓
散装件转鼓
铝板
不锈钢板
硼硅玻璃
石英玻璃