等离子表面清洁系统 Pico

半自动医疗

Pico 等离子设备可以组合成不同的派生型，例如组合成模块系统。下面是能够与 Pico 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。Pico 系统主要应用于以下领域： 分析 (REM, TEM) 考古 汽车 研究和开发部门 半导体技术 小批量生产 塑料技术 医疗技术 微系统技术 传感技术 灭菌 纺织技术 基本装备 根据组件/选装件，外壳规格会有所不同 腔室容积：根据具体版本 4 - 15 升 供电电源：台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位 气体供给 针型阀 质量流量控制器 (MFC) 真空腔室 圆形不锈钢，带盖（约 ∅ 150 mm，长 320 mm 或长 600 mm）或 矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm） 矩形铝材，带铰链的门（约 ∅ 160 mm x 160 mm，长 325 mm 或长 600 mm） 圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 130 mm，长 300 mm 或长 600 mm） 圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 130 mm，长 300 mm 或长 600 mm） 装载件 产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 电极 单层或多层 RIE