低压等离子体表面清洁系统 Nano

自动医疗

Nano 等离子系统可以组合成不同的派生型，例如组合成模块系统。下面是能够与 Nano 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览：Nano 等离子系统主要应用于以下领域： 分析、 考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感技术、灭菌、纺织技术 基本装备 根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同 腔室容积：根据具体版本 18 - 36 升 供电电源：台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位 气体供给 针型阀 质量流量控制器 (MFC) 真空腔室 圆形不锈钢，带盖（约 ∅ 267 mm，长 420 mm 或长 600 mm）或 矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或 600 mm） 矩形铝材，带铰链的门（约 ∅ 240 mm x 240 mm，长 420 mm 或长 600 mm） 圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 240 mm，长 400 mm 或长 600 mm） 圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 240 mm，长 400 mm 或长 600 mm）