低压等离子体表面清洁系统 Tetra 30

自动医疗

Tetra 30 等离子系统主要应用于以下领域： 分析 (REM, TEM) 考古 汽车 生物技术 弹性体技术 电子技术 电子显微镜 精密工程 研究和开发 半导体技术 小批量生产 塑料技术 医疗技术 微系统技术 太阳能电池技术 纺织技术 型号 1，标准设备 基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽：305 mm，深：370 mm，高：300 mm） 气体供给： MFC 型号 2，标准设备 基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽：305 mm，深：370 mm，高：300 mm） 气体供给： MFC 型号 3，腐蚀性气体设备（例如：用于含氟的工艺气体） 基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统 （宽 600 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm） 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽：305 mm，深：370 mm，高：300 mm） 气体供给： MFC 型号 4，腐蚀性气体设备（例如：用于含氟的工艺气体） 基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 （宽 600 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm） 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽：305 mm，深：370 mm，高：300 mm） 气体供给： MFC 型号 5，等离子体聚合设备 基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统 （宽 600 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm） 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门 （宽：305 mm，深：370 mm，高：300 mm） 气体供给： MFC