全自动层流湿式工作台
Felcon湿法加工工具用于需要化学蚀刻或清洗的基材或产品。 例如,这通常是作为硅晶片大型生产的一部分,或者在医疗应用中,如支架生产。Felcon湿式工作台可以手动操作,也可以通过机械手传送产品自动操作。Felcon湿式工作台可以使用 "FM"(工厂互助)材料建造,并可选择火灾检测和灭火系统。它们适用于所有类型的洁净室,也可以结合带有HEPA过滤器的层流空气。
手动湿处理台:聚丙稀(酸性),不锈钢(溶剂型),带层状气流。
工艺浴:自动快速冲洗 - 恒温石英浴 - 加热PFA S/S浴 - DI溢流堰浴 - 兆声波浴 - 纺丝开发浴 - 超声波浴 - 带加热器和冷却器的恒温浴 - 戴手套的清洗机
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