NPS是一个白光共焦点传感器,结合一个高精度的电动平台。
它可以在任何类型的表面上进行亚微米高度的测量,而无需与样品有任何接触。
高速轮廓
通过在一个轴上用高精度的电动XY平台移动样品,NPS在选定的间隔内获得一系列聚焦点,形成一个快速轮廓:高度、距离、半径、线条粗糙度(Ra、Rz、Rt...)等的测量可以在几秒钟内完成!
高分辨率表面
通过创建一系列对齐的剖面,NPS获取XYZ信息,创建一个高分辨率的三维表面:体积、表面粗糙度(Sa, Sz, ...)、复杂形状、三维波浪等都可以测量--扫描的持续时间由线的数量、扫描速度和样品的尺寸来调整!
白光共聚焦测量
NPS是一个创新的非接触共焦三维轮廓仪,实时测量高度,用于轮廓或表面扫描:
白光LED光束通过一个分光器
和一个色差透镜投射到样品的表面。
来自样品的反射光束在一个共焦针孔中被过滤掉。
共焦针孔中过滤,在完美的焦点中隔离一个单一的波长
NPS光谱仪准确地将这一波长转化为高度信息,并直观地显示出来。
转换成高度信息,并在NPS软件中直观地显示出来。
每秒最多可获得2000个高度信息
在移动XY平台时,实时创建一个轮廓。
你可以选择两种模式:剖面或表面
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