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SEM
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产品规格型号
类型
SEM, TEM, FE-SEM
应用
用于研究
配置
小型, 落地式
选项和配件
高解析度
倍率
3,000,000 unit
空间分辨率
0.4 nm, 0.7 nm, 0.8 nm, 1.2 nm
产品介绍
专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件,高分辨成像所设计。 特点 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。 0.4 nm / 30 kV (SE) 1.0 nm / 1 kV (SE) 0.34 nm / 30 kV (STEM) 用改良的高真空性能和优异的电子束稳定性来实现高效率截面观察。 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术,高效,灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。 具有电子光学系统自动调整功能。
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