SU7000不仅可以在低加速电压下获得高画质图像,而且还可以同时接收多种信号。此外,它还具备大视野观察、In-Situ观察等FE-SEM的众多优异性能。
SU7000是一台实现了获取大量信息的新型扫描电镜,可以满足客户的多种观察需求。
接下来请欣赏SU7000带来的多彩世界。
核心理念
1.采用优异的成像技术
SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统,使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号,用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。
2.采用多通道成像技术
随着用户对成像需求的不断增长,SU7000特新增了几种探测器,还引进了相应的成像功能。SU7000最多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的最大化。
3.支持不同形状样品、多种观察方法
大型样品观察
低真空观察
超低温观察
实时观察
等所需的样品仓和真空系统都十分完备,观察方法也是一应俱全。
4.支持微纳解析
采用肖特基发射电子枪,最大束流可达到200 nA,适用于各种微纳解析。样品仓形状和接口设置支持EDX分析、EBSD、阴极荧光分析等,接口设备可通过选配附件满足各种特殊需求。
成像能力
追求信息最大化的检测系统
随着用户对样品数据的需求更加多元化,对检测系统在短时间内捕捉更多的信息提出了更高的要求。
SU7000的检测系统可以在不改变WD等条件的前提下,更高效地获取形貌、成分、晶体学以及发光等信息。真正实现了更快速、更全面的信息收集。
采用可多通道显示的GUI设计
优化信号显示功能
成像单元在信号显示上也作了全新升级。
3.支持不同形状样品、多种观察方法
用户可根据观察需求,选择不同的视场角和通道数。
单屏最多可同时显示4通道信号。
导航功能(SEM MAP)可以轻松捕捉到显示样品仓内信息的CCD相机图像和相机拍摄到的样品图像,快速显示目标图像。
使用双屏显示时,可在一个显示屏上双通道显示1,280×960像素的图像,另一个显示屏专门用来显示信号,最多可同时显示6通道信号。