STEM显微镜 HF5000

SEMTEM实验室

通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。 透射电子显微镜除了延续了日立公司配备的球面像差校正器的功能、自动校正功能，像差校正后的SEM图像和对称Dual SDD技术等特点。还融汇了透射电子显微镜HF系列中所积累的技术。 对于包括高端用户在内的广泛用户，我们提供亚Å级空间分辨率和高分析性能以及更多样化的观察和分析方法。 特点 标配日立生产的照射系统球差校正器（附自动校正功能） 搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪 镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升 观察像差校正SEM/STEM图像的同时观察原子分辨率SE图像 采用侧面放入样品的新型样品台结构以及样品杆 支持高立体角EDX*的对称配置（对称Dual SDD*） 采用全新构造的机体外壳盖 配备日立生产的高性能样品杆* 高辉度冷场FE电子枪×高稳定性×日立制球面像差校正器 以长年积累起来的高辉度冷场FE电子源技术为基础，进行优化，进一步实现电子枪的高度稳定性。 此外，还更新了镜体，电源系统和样品台，以支持观察亚Å图像，并提升了机械和电气稳定性，然后与日立公司的球差校正器结合使用。 不仅可以稳定地获得更高亮度更精密的探头，而且自动像差校正功能可以实现快速校正，从而易于发挥设备的固有性能。使像差校正可以更实用。 支持高立体角EDX*的对称Dual SDD* 支持双重配置100 mm2 SDD检测器，以实现更高的灵敏度和处理能力进行EDX元素分析。 由于第二检测器位于第一检测器的对面位置，因此，几乎不会因为样品倾斜，导致X射线中的信号检测量发生变化。所以，即使是结晶性样品，也不用顾忌信号量，可完全按照样品的方向与位置进行元素分析。 此外，对于电子束敏感样品、低X光辐射量的样品，除了原子列映射，在低倍、广视野的高精细映射等领域也极为有效。