自动样本制备系统 ArBlade 5000 / IM5000-CTC

用于电子显微镜检查冷却离子束铣削

ArBlade 5000 / IM5000 扩展了 IM4000 II 系列的横切能力，可根据实际需要将横切面宽度扩展至 10 毫米。为此，在横切过程中，样品会在先前登记的加工区域内定期横向移动，同时保持在最佳聚焦位置。还可选择对多个单独位置进行连续加工；选配的多样品支架最多可自动加工 3 个样品。 ArBlade 5000 / IM5000 配备了功能更强大的离子枪，每小时去除率超过 1 毫米。使用 ArBlade 5000-CTC，还可以在可定义的加工温度（低至 -100 °C）下加工宽度可变的冷冻横截面。 产品特点 - 坚固耐用、便于维护的潘宁型离子枪，可独立控制束流和加速电压。可在所有加速电压（0-8 千伏）下产生密集离子束 - 通过定期移动样品与离子束的相对位置，可灵活选择 1 毫米至 10 毫米宽的横截面宽度 - 在掩膜上方有 100 微米突出、平台摆动幅度为 +/-30° 的情况下，硅的横截面加工深度为每小时 1000 微米或更多 - 可在 0° 至 90° 的倾斜角度下进行表面抛光，角度可在加工过程中改变