最先进的宽离子束系统,用于制作用于电子显微镜的超高质量横截面或平面铣削样品。
特点
横截面铣削速度:1 毫米/小时!*1
ArBlade 5000 配备了快速铣削氩离子枪,其铣削速率是最先进性能的两倍,从而大大缩短了横截面制备的加工时间。
截面宽度可达 8 毫米!
针对大面积铣削的要求,例如电子设备应用,我们开发了一种革命性的截面铣削支架设计,用于更大面积的制造。
大面积横截面铣削示例
(试样:电子元件,铣削时间:5 小时)
混合模型:可提供双铣削配置
全新的离子研磨系统配备了截面研磨和平面研磨两种模式,可满足最复杂的应用需求。
ArBlade 5000 系统配备多个夹头,可满足各种应用需求。
冷却装置
ArBlade 5000 的低温版可在样品处理过程中主动冷却横截面铣削平台。与横截面平台相连的集成式液氮干燥器可有效去除离子束铣削过程中屏蔽罩和样品产生的热量。
- 数字式低温温度控制 (CTC) 装置允许操作员通过将加热器和传感器直接放置在横截面屏蔽罩上来设置所需的冷却温度,从而准确保持所需的工艺温度。
- 冷冻研磨结束后,将试样台缓缓升温至室温,以避免结冰。
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