FIB/SEM显微镜 NX5000实验室用于研究落地式
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产品规格型号
- 应用
- 实验室, 用于研究
- 配置
- 落地式
- 选项和配件
- 高解析度
- 倍率
0 unit
- 空间分辨率
4 nm, 60 nm
产品介绍
NX5000 "ETHOS "FIB-SEM平台的目标是在以下领域实现先进的位置精确应用：自动生产用于畸变校正 TEM/STEM 的超精细 TEM 薄片、对系列样品切片进行高分辨率多信号 SEM 检查以及制造应用。
产品特点
- 高分辨率 FE-SEM，配有冷场或肖特基场发射器和双静电-磁场物镜：磁浸模式用于高分辨率成像，无磁场模式用于同时进行 FIB 操作
- Ga+ FIB 柱具有高达 100nA 的离子电流和良好的低 kV 特性，可实现快速 FIB 切割和低损伤 TEM 片表面
- 大型样品室，配有 155x155mm2 样品台和许多用于选配附件的接入点。气闸可用于直径为 150 毫米的样品和惰性气体传输（"空气保护"）。
- 检测系统配有 3 个柱内检测器（2 个反向散射检测器、1 个 SE 检测器）和室 SE 检测器。可同时记录和显示所有 4 种信号
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