创新的“EM Wizard”界面更加直观,仅需要“点击”即可得到理想的图像。
超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。
特点
高性能电子光学系统
二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*
高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能,低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微区分析
性能优异
压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*
开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
选配附件
选配探测器 -
高分辨率顶位二次电子探测器*1
高灵敏度低真空探测器 (UVD)
5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3
能谱仪 (EDS)
波谱仪 (WDS)
背散射电子衍射探测器 (EBSD)