光谱分析椭率计 Smart SE

HORIBA Scientific 的 Smart SE 是一款多功能光谱椭偏仪，用于快速准确地测量薄膜。它可以测量从几埃到 20 微米的薄膜厚度、光学常数 (n,k) 和薄膜结构特性（如粗糙度、光学分层和各向异性层等）。 从 450 纳米到 1000 纳米的光谱范围可在几秒钟内完成测量，并使用 DeltaPsi2 软件平台对椭偏仪数据进行分析。该软件集成了两个级别的软件，既可通过预定义配方进行常规分析，也可通过最先进的椭偏模型进行高级分析。 Smart SE 椭圆偏振仪是一款高性价比的薄膜研发工具，在功能上毫不逊色，以经济实惠的价格提供研究级的性能。它提供了一个用于准确光斑定位的集成视觉系统、7 个自动微型光斑（最小尺寸为几十微米），用于测量小特征，还能在几秒钟内测量完整的 16 元素穆勒矩阵，用于研究复杂样品。 Smart SE 设计灵活，可实现样品台和测角仪的全自动化，也可在工艺室中就地使用。它适用于各种应用领域，包括微电子、光伏、显示、光学镀膜、表面处理和有机化合物。 特点 快速准确 易于升级 点样可视化 标准配置 光谱范围：- 450nm 至 1000nm 光谱分辨率 - 优于 3nm 光源 - 卤素灯和蓝光 LED 组合 测量时间 - <1 秒至 10 秒