JSM-IT800具备高分辨观察和高速元素面分析,能够满足客户的各种需求。该装置配备浸没式肖特基场发射电子枪、新一代电子光学控制系统Neo Engine、一体化EDS、易用的操作导航SEM Center、及可置换的物镜模块。
特性
JSM-IT800 整合了我们用于从高分辨率成像到快速元素分析的“浸没式肖特基 Plus 场发射电子枪”、创新的电子光学控制系统“Neo Engine”以及无缝 GUI 系统“SEM Center”,该系统采用一体化 JEOL X 射线能量色散谱仪 (EDS) 作为通用平台,进行快速元素分析。
JSM-IT800 允许物镜作为一个更换模块,提供不同的版本以满足各种用户需求。JSM-IT800 有五种版本,提供不同的物镜:混合型物镜 (HL),这是一种通用 FE-SEM;超级混合物镜(SHL/SHLs,具有不同功能的两种版本),可实现更高分辨率的观察和分析;以及新开发的半浸没式物镜(i/is,具有不同功能的版本),适用于纳米材料、化学、新材料、半导体器件的观察和分析。
此外,JSM-IT800 还可以配备新型闪烁体背散射电子探测器 (SBED) 和多功能背散射电子探测器 (VBED)。SBED 支持以高响应性获取图像,即使在低加速电压下也能产生清晰的成分衬度,而 VBED 可以帮助获取 3D、形貌和成分衬度的图像。因此,JSM-IT800 可以帮助用户获取丰富多样德 信息并解决测量中的问题。
■ 视频介绍
◆点击下面按钮,开始播放◆
1. 浸没式肖特基Plus场发射电子枪
集成的浸没式肖特基Plus电子枪和低像差聚光透镜可实现高亮度。即使低加速电压下也能获得充足的探针电流(100nA@5kv), 这可帮助用户在对SEM参数进行微小调整的情况下,进行高分辨观察、高速元素面分析、EBSD分析、软X射线分析。
2. Neo Engine(New Electron Optical Engine)
配备本公司电子光学技术精华的新一代电子光学控制系统,可在调整各种参数的同时进行稳定的观察。此外,该系统还具有增强的自动功能,更易于使用。
3. SEM Center / EDS一体化
操作导航“SEM Center”与本公司生产的EDS进行了全面集成,更易于操作。此外,还配备了Smile Navi(可选),可以帮助新手了解如何操作SEM,LIVE - AI (Live Image Visual Enhancer-AI)(可选),可轻松查看实时图像;及SMILE VIEWTM Lab,用于快速生成报告。
4. LIVE-AI Filter
利用AI功能,整合LIVE-AI Filter以实现更高质量的实时图像。与图像集成处理不同,这样可以显示无残留图像的无缝移动实时图像。这一独特功能对于快速搜索观察区域、聚焦和像散调整非常有效。
JSM-IT800 系列了提供多种物镜可供选择,以满足用户的多种需求。
HL 版本和 SHL 版本(包括 SHLs 版本)配备了电磁/静电场叠加物镜。可以对从金属到纳米材料的各种样本进行高分辨率观察和分析,特别适用于磁性材料的观察和分析,例如 EBSD 分析。
i 版本和 is 版本都配备了半浸没式物镜,非常适合对倾斜和横截面样本进行高分辨率观察和分析,这是半导体器件故障分析的必备要素。此外,它还适用于使用高位透镜内电子探测器 (UID) 进行观察。