激光粒子计数器 Chem 20™

工艺流程在线

领先的微电子工艺需要非常洁净的工艺化学品，这些化学品必须经过高度过滤，粒径必须控制在 20 纳米或以下。粒子监测系统公司（PMS）的 Chem 20 化学粒子计数器具有 20 纳米的粒子灵敏度，支持国际器件与系统路线图（IRDS）和多种化学品。 有关化学品分布和包装系统的大量数据证明，与同类产品相比，灵敏度为 20 nm 的 Chem 20 化学粒子计数器能检测到更大浓度的粒子，统计效果更好。Chem 20 化学粒子计数器是一种宝贵的工具，可帮助设备和工艺工程师在化学粒子源影响工艺和设备性能之前快速检测并确定其特性。Chem 20 粒子计数器支持在线监测和基于样品的监测，可提供从进料质控到使用点的灵活监测。 产品特点 克服背景散射 激光安全 感应样品流中的气泡 处理减少的样品流 泄漏检测 获取稳定、可重复的数据 产品详细信息 我们正在改变您监控关键工厂环境的方式。 进一步了解业界领先的灵敏度，用于监测空气、气体、水、化学品和空气中的分子污染。 一站式服务。只来自粒子监测系统。