厚度测试仪 SK-FTM

实验室自动紧凑型

実験室レベルから生産工程でのインライン全数検査まで、すべての場面で適用可能な光干渉法による反射分光式膜厚計です。保守性に優れ、プロセス装置内への組み込みやライン管理用途としても利用できます。 最大９種類の透明膜の同時測定が可能です。 メンテナンス性に優れ、プロセス装置内への組み込みやライン管理用途としても利用できます。 例えば、成膜，研磨，エッチングプロセス中のインラインモニタやエンドポイントモニタ（終点検出センサ）として使え、膜厚のリアルタイムモニタリング（実時間監視）が可能です。 また、ポリシリコンの結晶性評価やポーラス膜の密度評価としても適用可能です。 小型ファイバープローブ対象面からプローブまでのl距離は、1mmから80mm程度を推奨します。 測定領域は約3mmφとなります。 （オプションで1mmφのアタッチメントを用意。） プローブの種類を変更することにより、サンプルとの距離を100mm以上離すことが可能です。 高さ30mmの小型プローブを採用したことで、機器内の僅かな空間に取り付け可能です。 膜厚測定再現性 0.1nm以下（3σ） 多層膜同時測定 9層対応 膜質解析機能 有効媒質近似（EMA）法による混合層の混合率算出、結晶性判定 光学定数解析 推奨環境条件 温度 - ：セットポイント 18 ～ 45℃の範囲内 長期変化 - ：±2.0℃/24時間以上（基準セットポイント） 短期変化 - ：±1.0℃/1時間×1周期（基準セットポイント） 湿度 - ：45％±20％（結露無き事）