厚度测试仪 SK-iFTM

医学成像医疗用途

成像薄膜厚度监测仪是一种计量工具，可直观显示透明多层薄膜的厚度分布。 它可以通过光谱反射仪以 0.1nm 的厚度分辨率观察薄膜厚度分布。 可视化薄膜厚度均匀性 在显微镜视野内测量薄膜厚度/质量，显示 3D 分布情况 薄膜厚度分辨率 ： <0.1nm 相当于光谱分析工具的良好厚度分辨率。 波长可在 450nm 至 750nm 之间选择，精度为 1nm。 高速/多层测量，最多可测量 9 层 通过光谱反射仪进行并行处理 先进的应用 带通干涉滤波器等数百层重复薄膜和沟槽结构等复合多层薄膜 使用有效介质近似法 (EMA) 估算亚微米图案密度 局部区域结晶度评估，如激光退火 测量目标视场指定区域的薄膜厚度分布。 使用 1x 物镜测量 6.6x8.8mm□ 区域。 使用 50x 物镜测量 0.5um 的空间分辨率。