TESCAN MIRA的第四代扫描电子显微镜(SEM)带有FEG肖特基电子发射源,在TESCAN的Essence™软件的单一窗口中结合了SEM成像和实时元素成分分析。这种结合大大简化了样品形态和元素数据的获取,使MIRA SEM成为质量控制、故障分析和研究实验室中常规材料检测的高效分析解决方案。
分析平台具有完全集成的TESCAN Essence™ EDS,在一个Essence™软件窗口中有效结合了SEM成像和元素成分分析。
由于TESCAN独特的无孔光学设计由飞行中的光束追踪™提供支持,可立即获得最佳的成像和分析条件。
由于独特的宽视场光学系统™设计,在低至2倍的放大率下,不需要额外的光学导航相机就能在样品上进行轻松而精确的SEM导航。
SingleVac™模式是观察充电和光束敏感样品的标准功能。
直观和模块化的Essence™软件,无论用户的经验水平如何,都可以轻松操作。
当平台和样品处于运动状态时,Essence™ 三维碰撞模型保证了腔体安装探测器的最终安全性。
可选择柱内SE和BSE探测器,包括光束减速技术,以提高低加速电压下的成像性能。
模块化分析平台,可选择配备最广泛的全集成探测器(如CL、水冷BSE或RAMAN光谱仪)。
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