TT-DSR1台SEM镀膜机模型是一个紧凑的镀膜系统,能够在不导电或导电性差的试样上镀膜贵金属如金(Au)、钯(Pd)、铂(Pt)和金/钯(Au/Pd)薄膜。在一个快速的循环时间内形成具有细粒度的均匀的薄膜。所生产的薄膜适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。
台式磁控溅射镀膜机(DSR1)是一个高生产力的工具,在全自动系统中提供一致和高度可重复的结果。它的设计符合人体工程学,DSR1扫描电子显微镜镀膜系统的占地面积小,便于使用该系统。
TT-DSR1,SEM样品制备系统的模块,配置为一台仪器中的溅射镀膜机和碳镀膜机(螺纹),可互换头。它是一个扫描电子显微镜(SEM)样品制备系统,配备了一个旋转泵,可以达到小于50mTorr的真空,这是一个适合贵金属溅射镀膜和蒸发镀膜的真空范围。
两级,直接驱动4m3/h,旋转叶片泵
高精度的石英晶体厚度显示器
直观的触摸屏来控制镀膜过程和快速的数据输入
用户友好的软件,可通过网络更新
控制涂布率以达到更精细的颗粒结构
手动或自动的定时和厚度溅射
易于更换的试样平台(旋转平台为标准)。
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