数字电热板 WAFERPLATE™

用于实验室液体

大型圆形铣削平面铝表面，整个加热表面的温度均匀性优于 1%。专为处理直径为 12 英寸（304.8 毫米）或更小的硅晶圆和其他需要温度精度和表面均匀性的样品而设计。 描述 Torrey Pines Scientific WaferPlate™ 可编程烘烤板是一款完全可编程的数字热板，专为烘烤硅晶圆而设计。在手动操作中，只需设置一个目标温度，设备就会达到并保持该精确温度在 ± 1 °C 以内。在可编程模式下，例程可以存储在内存中以供即时调用和使用。存储的例程将自动运行，并且一次又一次地完全相同。 根据需要，程序可以简单也可以复杂。如果需要，可以存储多个温度、升温速率和停留时间。这些程序可以编写并存储在随设备提供的遥控器中，或者当用户在 PC 上编写并由 PC 通过 RS-232 I/O 端口运行时，程序可以根据需要简单或复杂。加热器的后部。 特征 13.875 英寸（354.24 毫米）直径的加热器表面 铣削平板铝非常适合 12 英寸（304.8 毫米）或更小的硅晶圆 可通过 RS232 I/O 端口或远程控制器从 PC 或工业控制器进行远程控制 提供对所有参数或数据的完全访问权限 使用提供的遥控器可对台面进行控制和编程 温度范围从室温到 350 °C 可读且可设置为 1 °C 精度 1% 的设置 从板面中部到两侧0.75英寸以内的温度均匀性优于1% 温度稳定性 ± 1 °C 校准至 0.1 °C 以保证精度 遥控器可以存储 5 个独立的程序，每个程序最多 10 个步骤，适用于各种无需干预、可重复的样品运行 程序可自动重复 1 到 99 次或无限次（如果需要）