卓立汉光经过多年研究,推出基于振镜显微系统的LBIC 系统。本设备有着快速扫描,高分辨等特点,可以广泛应用于:单晶硅、多晶硅、非晶硅、有机半导体、染料敏化等各类太阳能电池研究,也可以应用于GaN 等光电器件的研究。对光电探测器的量子效率, 器件的电阻分布特征,研究太阳能电池光生电流的不均匀性,研究器件吸收和电荷生成的微区特性,以及光电材料界面,半导体结区的品质分布等提供可靠的分析数据。
产品概述
产品简介
微纳光电成像测试系统是一种利用显微成像手段,通过不同波长激光进行探测,分析表征光电子器件的短路电流分布,表面缺陷, 反射率等参数。并通过扫描获得的图像,分析各种参数的平面均匀性,为光电器件的结构优化提供参考。
卓立汉光经过多年研究,推出基于振镜显微系统的LBIC 系统。本设备有着快速扫描,高分辨等特点,可以广泛应用于:单晶硅、多晶硅、非晶硅、有机半导体、染料敏化等各类太阳能电池研究,也可以应用于GaN 等光电器件的研究。对光电探测器的量子效率, 器件的电阻分布特征,研究太阳能电池光生电流的不均匀性,研究器件吸收和电荷生成的微区特性,以及光电材料界面,半导体结区的品质分布等提供可靠的分析数据。
系统结构描述:
激光通过扫描透镜,扫描振镜,成像透镜,由显微镜聚焦到样品表面,激光激发样品产生光电流,光电流信号通过探针引出至电流源表,再通过软件在软件中读出。扫描时,振镜是通过电压控制器控制光束的偏转角度,激光的光斑在样品的XY 方向上扫描移动, 软件记录每一个激光聚焦光斑的位置和其对应的电流值,在软件上同步描绘出光电流成像图,显示了样品的电流分布。由于采用振镜结构,光斑移动在物镜处是不同位置入射,而不是不同角度入射,因此可以保证入射到样品不同位置的光斑模式不会变化
整个系统的结构如下图所示:包含
■ 光源(激光器或者连续光源),
■ 显微镜,扫描振镜,
■ 数字源表,
■ 探针台和计算机软件等。
产品特点
■ 多路激光波长可选;
■ 样品更换方便;
■ 探针可整体位置二维移动,方便测试样品的不同位置;
■ 样品为静止状态下实现扫描(mapping),消除普通位移平台模式下的震动影响。
■ 软件可视化,可任意选取扫描范围(测试区间位置通过框图的方式选取,实现了可视范围即扫描范围)
应用领域
纳米材料,二维材料,晶圆分析,探测器光电性能检测, 面阵探测器Pixel 检测,器件电荷生成的微区特性等等
电脑配置:
主机:i7,16G 内存,256G 固态+2T 机械硬盘, 2G 独显;21.5 英寸电脑显示器
软件功能:
光斑位置移动;
选取测试区域;
实现监控开关;
IV曲线参数设置;
实时显示测试数据和测试点位置;
显示测试进度和测试用时间;
功能:
阈值处理;局部放大,等高线显示,三维显示,单点测试数据显示,导出txt,excel 数据等。