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空间分辨率: 4, 60, 0.7, 50, 1.5 nm
“Ethos”采用日立高新的核心技术--高亮度冷场发射电子枪及新研发的电磁复合透镜,不但可以在低加速电压下实现高分辨观察,还可以在FIB加工时实现实时观察。 SEM镜筒内标配3个探测器,可同时观察到二次电子信号的形貌像以及背散射电子信号的成分衬度像;可非常方便的帮助FIB找寻到纳米尺度的目标物,对其观察以及加工分析。 另外,全新设计的超大样品仓设置了多个附件接口,可安装EDS*1和EBSD*2等各种分析仪器。而且NX5000标配超大防振样品台,可全面加工并观察最大直径为150mm的样品 ...
... AMBER X是一款高性能聚焦等离子体离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM),适用于超大体积分析和高通量低温应用。TESCAN AMBER X配备了iFIB+柱子,支持以前用Ga FIB系统进行的低温FIB应用,只需一小部分时间,就能获得等离子体FIB固有的超快材料去除率。隐藏在样品深处的特征可以在几分钟内暴露出来,而使用传统的Ga ...
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